留言板
产品中心FemtoLAB飞秒激光微纳加工系统
FemtoLAB飞秒激光微纳加工系统
立陶宛 Workshop of Photonics
FemtoLAB
留言咨询>>
产品详情
All-in-one R&D platform for laser micromachining
FemtoLAB是飞秒激光微加工工作站，是科学实验室和研发中心的完美选择，根据需要为各种任务有侧重的定制解决方案。也是目前国内保有量最高的微纳加工系统，支持国内打样服务。
FemtoLAB可以执行各种增材和减材应用，例如飞秒激光烧蚀（FSLA），直写光波导，多光子聚合（MPP）、激光直写（DLW）实现纳米级分辨率。
配置：
- 飞秒激光源
- 样品定位系统
- 光束传输和扫描单元
- 激光功率和偏振控制
- 系统控制软件（可根据要求提供自动对焦和机器视觉）
- 样品架和特殊机械装置（可根据要求实现样品处理自动化）
- 光学工作台
- 存储模块（全部或部分）
- 除尘装置
- 激光系统通过几经迭代和更新的SCA微加工软件实现自动化。
关键应用：
- 表面和体积微米和纳米结构
- 飞秒激光烧蚀 (FSLA)
- 激光开槽
- 多光子聚合（MPP）| 直接激光写入 (DLW)
- 激光切割和钻孔
- 独特的是，该系统不仅兼容平面样品，还支持光纤加工。
技术规格
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 推荐材料 | 所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。 |
| 激光 | 高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光器 |
| 光路选择 | 自动化 |
| 样品尺寸 | 兼容最大 160 毫米 x 160 毫米的设计 |
| 最小特征尺寸 | 200纳米 |
| 定位系统 | XYZ 机械轴，定位精度 ± 0.3 μm，具有连续晶圆级图案化功能 |
| 扫描系统 | 适用于所有激光波长的振镜系统 |
| 视觉成像 | 具有特征识别功能的实时可视化和定位摄像头 |
| 计量学 | 集成显微镜 |
| 样品处理 | 手动与自动对齐 |
| 持有者 | 用于扁平结构的样品架（基于真空抽吸），带有用于光纤的附加支架 |
| 除尘系统 | 包括 |
| 配件 | 功率控制、偏振态控制 |
| 软件 | 通过单一 GUI 控制整个系统。 |
| 支持的文件格式 | – 2D/3D模型导入：STL、DXF、DWG、AMF、PLT、FAB |
| – 位图支持：BMP、GIF、JPG、JPEG、PNG | |
| – 作为表格数组的文本文件：TXT、RTF、TEX | |
| 软件 | 具有被动隔振功能的花岗岩底座，建立在光学平台上（可选独立设计） |
| 建造 | 水冷激光器、风冷系统、电气柜 |
| 尺寸，毫米 （长 x 宽 x 高） | 1500×1350×1400 |
| 重量 | 1100公斤 |
| 电源 | 2x 220 伏交流电，16 安 |
References
- Ksenia Maximova, Xuewen Wang, Armandas Balčytis, Linpeng Fan, Jingliang Li, and Saulius Juodkazis at al. “Silk patterns made by direct femtosecond laser writing”, Biomicrofluidics 10 (5), 054101 (2016). doi: http://dx.doi.org/10.1063/1.4962294
- Xuewen Wang, Aleksandr Kuchmizhak, Etienne Brasselet, Saulius Juodkazis, et al. “Dielectric geometric phase optical elements from femtosecond direct laser writing”, arXiv:1612.04487 (2016). doi:https://arxiv.org/abs/1612.04487
- W. Wang, A. A. Kuchmizhak, X. Li, S. Juodkazis, O. B. Vitrik, Yu.N. Kulchin, V. V. Zhakhovsky, P. A. Danilov, A. A. Ionin, S. I. Kudryashov, A.A. Rudenko, N. A. Inogamov at al. “Laser-induced Translative Hydrodynamic Mass Snapshots: mapping at nanoscale”, arXiv:1703.06758 (2017). doi:http://arXiv:1703.06758
